ختم سيليكون قابل للنفخ لأشباه الموصلات

عادةً ما يكون ختم السيليكون القابل للنفخ لمعدات أشباه الموصلات عبارة عن حشية قابلة للنفخ من السيليكون عالية النقاء ومنخفضة التحرير (بعضها مزود بطبقات تقوية من القماش). هذه الأختام مصنوعة من مطاط السيليكون عالي النقاء (مثل مطاط السيليكون فينيل الميثيل)، وتلبي معايير غرف الأبحاث لأشباه الموصلات، وتتميز بانخفاض إطلاق الغاز، ومقاومة درجات الحرارة العالية والمنخفضة (-60 درجة مئوية ~ 230 درجة مئوية)، ومقاومة تآكل المذيبات البلازما/الكيميائية. تشتمل بعض الطرز على طبقات تقوية من الألياف الزجاجية/قماش الأراميد لتعزيز مقاومة الضغط والتمزق.

باستخدام مطاط السيليكون عالي النقاء ومنخفض الإطلاق (متوافق مع معايير ISO 14644 لغرف الأبحاث)، فإن هذه السدادات القابلة للنفخ خالية من المواد المتطايرة وتساقط الجسيمات، مما يمنع تلوث الرقاقة أو التداخل مع بيئة العملية. مع نطاق درجة حرارة من -60 درجة مئوية إلى 230 درجة مئوية، فهي مناسبة للخبز بدرجة حرارة عالية وظروف تبريد منخفضة الحرارة، ومقاومة للوسائط المسببة للتآكل في عمليات مثل حفر البلازما وترسيب البخار الكيميائي.

أثناء التشغيل، تتوسع موانع التسرب بسرعة عند النفخ، وتغلق بإحكام على أبواب المعدات، وواجهات حجرة التفريغ، والمكونات الرئيسية الأخرى لتحقيق إحكام عالي للهواء (معدل التسرب ≥10⁻⁹ Pa・m³/s)، مما يضمن بيئات فراغ/خاملة مستقرة. عند الانكماش، فإنها تتقلص بمرونة، ولا تؤثر على عمليات الفتح والإغلاق أو الصيانة المتكررة. تعمل النماذج المزودة بتعزيز النسيج المدمج على تعزيز مقاومة التمزق، مما يجعلها مناسبة لسيناريوهات الختم الديناميكي مثل تجاويف نقل الرقاقات.

تلبي هذه الأختام المتطلبات الصارمة لمعدات أشباه الموصلات فيما يتعلق بالنظافة والختم ومقاومة التآكل، وتستخدم على نطاق واسع في المعدات الحيوية مثل الطباعة الحجرية الضوئية والحفر والترسيب وتنظيف الرقائق، مما يساهم في تحسين استقرار العملية وإنتاجيتها.